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千屹告诉您:溅射镀膜在真空镀膜加工中的应用

返回列表 浏览:- 发布日期:2016-08-13 11:14:00【

现如今普通的五金电镀加工技术越来越不能满足电镀市场的需求,一家东莞电镀厂家意识到这一点的市场空缺,在原来技术基础上率先引进了目前市场上很好的溅射镀膜技术,东莞市千屹真空技术有限公司所采用的电镀均为通过检测的“真金”电镀,不是那种通过化学配方所配的“化学金”。


五金电镀加工


五金电镀加工中用高能粒子炮击固体外表时能使固体外表的粒子获得能量并逸出外表,堆积在基片上。溅射景象于1870年开端用于镀膜技能,1930年今后因为进步了堆积速率而逐渐用于工业生产。常用的二极溅射设备如图所示。一般将欲堆积的资料制成板材──靶,固定在阴极上。



五金电镀加工


基片置于正对靶面的阳极上,距靶几公分。体系抽至高真空后充入 10~1帕的气体(一般为氩气),在阴极和阳极间加几千伏电压,南北极间即发作辉光放电。放电发作的正离子在电场作用下飞向阴极,与靶外表原子磕碰,受磕碰从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏规模。溅射原子在基片外表堆积成膜。五金电镀加工中的溅射镀膜与蒸腾镀膜不一样,溅射镀膜不受膜材熔点的约束,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。


溅射化合物膜可用反响溅射法,行将反响气体 (O、N、HS、CH等)参加Ar气中,反响气体及其离子与靶原子或溅射原子发作反响生成化合物(如氧化物、氮化物等)而堆积在基片上。堆积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上,绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地,一端经过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后,高频电压不断改变极性。


等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周别离打到绝缘靶上。因为电子迁移率高于正离子,绝缘靶外表带负电,在到达动态平衡时,靶处于负的偏置电位,从而使正离子对靶的溅射继续进行。采用磁控溅射可使堆积速率比非磁控溅射进步近一个数量级。