真空镀膜加工技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。
和设备上仪表盘指针闪现及各旋钮下的标示说明。
① 检查真空镀膜机各操作控制开关是不是在"关"方位。
② 翻开总电源开关,设备送电。
③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,发起升钟罩阀,钟罩升起。
④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在翻滚圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。收拾钟罩内各部位,确保无任何杂质污物。
⑤ 落下钟罩。
⑥ 发起抽真空机械泵。
⑦ 开复合真空计电源(复合真空计类型:Fzh-1A)。
a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热方位。
b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量方位。
⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量方位。
⑨ 真空镀膜加工机注册冷却水,发起分散泵,加热40min。
⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量方位。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
? 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射方位。
b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量方位。
? 旋转发射调度钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。
? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点方位。
? 旋转零点调度钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0方位。
? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量方位。
? 旋转标准调度钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。
? 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移逾越1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
? 当高压真空表“5”内指针逆时针移动逾越6.7Pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件PVDF膜翻滚。
? 开蒸发钮开关。把电流分插塞刺进蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可刺进恣意一孔)。
? 右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压。
a. 从视镜窗口查询钨螺旋加热子的加热温度颜色改动状况。
b. 当钨螺旋加热子颜色成为黄橙色,铝丝开端熔化时,左手操作挡板钮,移开钨螺旋上方挡板。
c. 铝丝全部熔化蒸发,挡板回原位。
d. 右手旋转调压器手轮回零位。初次蒸镀工作结束。
21. 假如再想蒸镀一次(为了添加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出刺进另一个电极分配孔。重复?操作动作。
22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向分散泵方位。
23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间,当没有气.声时,升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜交换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在翻滚圆盘上。
25. 落钟罩。开机械泵。
a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量方位。
b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,低压阀推入。
c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量方位。
d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量方位。
e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时,开规管灯丝。
f. 由?开端重复操作至? 。
26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后,按次第关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、分散泵。把低压阀拉出。钟罩充气,充气结束后升钟罩。取出工件,做好钟罩内收拾工作。
a. 落下钟罩。
b. 开机械泵,抽3~5min,停机械泵。
c. 堵截供电总开关。
d. 1h后再关闭冷却水。操作全部结束。
27. 正常出产中,如遇到俄然停电时,要当即堵截高真空测量,关闭规管灯丝,高压阀、低压阀拉出。来电后,先让机械泵发起工作3~5min后,再转入正常出产。