一、真空镀膜工艺对环境的基本要求
清除真空镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是真空镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行真空烘烤除气。要防止油脂带入真空室内；注意降低油扩散泵返油，对加热功率高的油扩散泵必须采取挡油措施。
对经过清洗处理的清洁表面，不能再大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜储存，以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器储存玻璃衬底，可使烃类化合物蒸气的吸附减至最小。因为这些容器优先吸附烃类化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应储存在真空干燥箱中。
二、基片表面污染物来源及清洁处理
在真空镀膜工艺中，基片表面的洁净度直接影响着镀层的牢固度。基片表面的污染来源主要有：
（1）零件在加工、传输、包装过程中及放置时所黏附的各种粉尘；
（2）零件加工、储运过程中黏附的润滑油、抛光膏及油脂、汗渍等污物;
（3）零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜；
（4）零件表面吸收和吸附气体。这些污染物基本上均可采用去油或化学清洗方式将其去掉。
真空镀膜工艺衬底（基片）表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜钱均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。
