真空镀膜技术中的清洁处理(亦称真空卫生)一般涉及真空镀膜设备的结构材料、装填材料、真空零部件的清洁处理和真空镀膜设备的环境要求及真空镀膜工艺过程中基片的情节处理问题。这些问题既是独立的,也是互相联系的。
首先,在真空镀设备的研制过程中,只有严格地清洁处理好各个零部件后,才能保证该设备的性能稳定。只有先进的真空镀膜设备才能生产出合格的镀膜产品;其次是先进的真空镀膜设备必须安装在符合镀膜真空工艺的环境要求的实验场所,才能保证镀膜生产工艺的进行;最后,在镀膜生产工艺中,基片表面洁净直接决定了镀膜前处理工艺过程及对基片进行清洗处理的配方,因此它决定了是否能生产出合格的镀膜产品。由此可知,真空镀膜技术中的清洁处理是十分重要的。
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