一、真空镀膜设备污染物的来源及清洁处理
真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成得，例如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物的大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。
二、真空镀膜设备真空系统地清洗处理
1、油扩散泵真空系统地污染与防治
油扩散泵真空系统是使用最广泛的真空系统，其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备，常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的极限压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析，可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外，真空室内壁的油蒸汽污染，真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。
2、超高真空系统地烘烤与清洗
由溅射离子泵和钛升华泵组成的真空系统是目前获得清洁超高真空的主要抽气手段，能获得低于1.3*10-3Pa的压力。中小型真空镀膜设备真空系统以溅射离子泵作为主泵，大型真空系统以钛升华泵做主泵。超高真空系统要求真空室内壁相当干净，零件表面粗糙度要求高，材料放气量要小。真空室零件要进行严格地清洁处理，不要用手接触零件表面。真空室的漏率也要严加控制。除此外，还要对真空室进行烘烤。
