(千屹真空技术有限公司)在离子镀过程中，离子对工件表面的轰击产生一系列物理现象和化学反应，它们对离 子气相沉积的过程和结果有非常重要的影响。这些现象和反应主要如下。（千屹电镀）
(1)二次电子发射。离子轰击阴极引起的二次电子发射是维持放电的必要条件。
(2）气体的解析。离子轰击阴极表面，首先会将工件表面上吸附的气体溅射掉或热解析出来。这个效应无疑对镀面起了有效的净化作用离子轰击阴极表面时相当一部分能量 转化为热能，使工件表面被加热，从而促进了离子镀过程中膜层原子向基体的扩散，并有利于提高膜层与基体的结合强度。
（3）阴极溅射。高能离子轰击阴极表面，将会使阴极表面上一些中性原于或分子被溅出。这在离子镀中表现为与沉积的同时，将有部分膜层原子被轰击下来，即出现了 “反溅 射”现象。
